檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "周賢鎧".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="鈍化層"
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本論文分為兩部分,第一部分探討不同氮氣流量下成長之氮化鋁,其晶粒大小對漏電流的影響。第二部分探討探討不同厚度的氮化鋁鈍化層,其等效固定電荷 Qeff、絕緣層陷阱電荷密度Not 以及介面缺陷密度Dit…
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本論文第一部分探討金屬鋁層與氫化非晶矽層接合後, 在低溫下鋁擴散進入非晶矽層形成 p 型膜的現象。研究發現, 當擴散溫度 200℃、擴散時間大於 30 分鐘,p 型膜層呈現微 晶化的結構,其導電率可…